陸芯硅片烘干機：從拉絲處置到晶片問世

硅片烘干也叫統(tǒng)籌安排，是將硅片歷經(jīng)拉絲處置后，烘干成無數(shù)個原則上的晶片，為先期成品做預(yù)備的操作過程。

硅片烘干機具體來說要展開拉絲成品，除去在后端工藝技術(shù)中受生物化學(xué)環(huán)境污染的部份，增加硅片寬度；在展開拉絲處置以后，需將UV小刀全面覆蓋在硅片反面，這種能防止硅片在烘干操作過程中受受損；UV小刀黏著性高，能防止硅片開裂，后用電漿卡盤桌粘住，烘干硅片的左上角使其變厚。

在拉絲處置后，竭盡全力在硅片左上角貼上UV小刀，將其一般來說于輻花的門邊后，用表層貼有鈦的便攜方形小刀，沿著硅片上的截葉四海烘干。雖然烘干是透過烘干展開的，會造成大批的微小灰塵，因而在烘干操作過程中要急速用DI水（Deionized water，純水）洗滌，以防環(huán)境污染孔隙。接著在UV小刀左上角反射紫外光，雖然光生物化學(xué)反應(yīng)，其黏著性會增加，進而很難將晶片從小刀連上留下來。

最終，在電子顯微鏡下對兩個兩個晶片展開外形檢驗，把有缺陷、受損、環(huán)境污染的晶片出局，甄選出達至國際標準的晶片就能展開說行成品了。